2025年1月20日,海关统计数据在线查询平台公布了2024年13类主要半导体设备进口29367台,同比增加4.6%,进口金额196.12亿美元,同比增长8.5%。
2024年,化学气相沉积设备(CVD)和等离子体干法刻蚀机进口额仍然是进口金额最大的二类半导体制造设备,占13类主要半导体设备进口总金额的64.5%。
2024年,离子注入机进口金额增长最快,同比增长35.9%。分步重复光刻机、硅单晶炉和塑封压机等三类半导体设备进口金额分别减少51.1%、41.1%和31.20%。
2024年13类主要半导体设备中国大陆进口数据表
设备名称进口量(台)进口金额(万美元)2024年
1-12月
同比增长%2024年
1-12月
同比增长%1硅单晶炉58-37.0%4,872.0-41.1%2研磨机562-8.8%38,264.2-12.2%3切割设备933-18.5%21,919.9-27.0%4化学机械抛光机CMP371-10.2%66,754.40.2%5氧化扩散炉1,669-3.4%209,164.515.6%6化学气相沉积设备CVD1,8363.3%544,348.111.4%7物理气相沉积设备PVD626-1.9%179,623.727.7%8分步重复光刻机240-18.9%81,002.3-51.1%9等离子体干法刻蚀机1,5515.1%52,1045.918.5%10离子注入机55330.1%181,034.735.9%11塑封压机123-35.3%6,334.6-31.1%12引线键合机10,87322.8%61,761.821.2%13集成电路工厂专用自动搬运机器人9,972-4.2%45,107.6-9.1%合 计29,3674.6%1,961,233.78.5%2024年化学气相沉积设备发货地情况表(进口额前五名)
新加坡韩国日本美国马来西亚数量(台)51125753020471进口额(万美元)283,757.482,698.668,901.633,957.330,475.52024年化学气相沉积设备等进口收货地情况表(进口额前五名)
上海市广东省安徽省江苏省北京数量(台)260247273301232进口额(万美元)122,001.784,338.175,654.966,974.658,495.12024年等离子体干法刻蚀机进口发货地情况表(进口额前五名)
日本马来西亚中国台湾美国韩国数量(台)488161179206101进口额(万美元)217,396.1124,925.186,653.833,113.329,509.12024年离子体干法刻蚀机进口收货地情况表(进口额前五名)
广东省上海市北京市安徽省江苏省数量(台)265247367123219进口额(万美元)133,305.7100,313.968,768.867,825.644,944.22024年氧化扩散炉发货地情况表(进口额前五名)
日本美国新加坡德国韩国数量(台)1,0712498311164进口额(万美元)99,825.759,109.424,239.715,536.76,310.52024年氧化扩散炉收货地情况表(进口额前五名)
上海市广东省北京市江苏省四川省数量(台)34925116833295进口额(万美元)51,266.236,521.726,071.825,242.417,840.02024年离子注入机进口发货地情况表(进口额前三名)
美国韩国日本其他数量(台)429286432进口额(万美元)142682.117019.916245.297.2%2024年离子注入机收货地情况表(进口额前五名)
数量(台)广东省上海市江苏省浙江省北京市数量(台)106112695658进口额(万美元)37959.131780.522321.320273.617999.82024年物理气相沉积装置进口发货地情况表(进口额前五名)
新加坡美国英国台湾日本数量(台)1841324110273进口额(万美元)117221.025354.510453.68604.57426.52024年物理气相沉积装置收货地情况表(进口额前五名)
数量(台)广东省上海市江苏省山东省四川省数量(台)1101281242824进口额(万美元)43610.537569.125060.415306.312413.8(数据来自海关统计数据在线查询平台)
2024年1-12月中国制造半导体器件或集成电路用的机器及装置进口量及金额增长情况
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